Ultimate magazine theme for WordPress.

یک روش جدید و کم هزینه آلودگی های مقیاس نانو را در هنگام ساخت دستگاه های نیمه هادی

0

یک روش جدید و کم هزینه آلودگی های مقیاس نانو را در هنگام ساخت دستگاه های نیمه هادی

 

یک روش جدید و کم هزینه آلودگی های مقیاس نانو را در هنگام ساخت دستگاه های نیمه هادی
دو تصویر ترکیبی ، هر یک از روش TSOM ، یک نانوآلاینده منفرد را روی نمونه نیمه هادی نشان می دهد که در فاصله های مختلف از عدسی میکروسکوپ نوری ثبت شده است. قرمز بیشترین شدت نور پراکنده ، آبی کمترین را نشان می دهد. اعتبار: NIST

یک روش جدید و کم هزینه آلودگی های مقیاس نانو را در هنگام ساخت دستگاه های نیمه هادی با کاهش اندازه تراشه های رایانه و سایر دستگاه های الکترونیکی ، حساسیت آنها نسبت به آلودگی بیشتر می شود. با این حال ، تشخیص معادل نانومقیاس یک لکه آب روی یک پنجره فوق العاده چالش برانگیز است. هرچند ضروری است ، زیرا این نقص تقریباً نامرئی این اجزا ممکن است در عملکرد مناسب تداخل ایجاد کند.

دانشکده ها : در NIST ، آتوتا به پیشگام این روش کمک کرد ، معروف به حدود ۱۵ سال پیش میکروسکوپ نوری اسکن از طریق کانون (TSOM) . TSOM میکروسکوپ نوری معمولی و ارزان را به ابزاری قدرتمند برای اندازه گیری شکل سه بعدی در مقیاس نانومتر تبدیل می کند. میکروسکوپ به جای ضبط یک تصویر واضح و واضح ، هنگامی که یک نمونه در فاصله ثابت از لنز قرار دارد ، خارج از فوکوس می گیرد ، تصاویر دو بعدی ، هر کدام از نمونه ها در فاصله ای متفاوت از ابزار و منبع نور هستند. (در مجموع ، این تصاویر حاوی اطلاعات بیشتری نسبت به یک تصویر در کانون هستند.)

سپس یک کامپیوتر تنوع در روشنایی – اصطلاحاً پروفایل روشنایی – را در هر تصویر استخراج می کند. هر نمای روشنایی متفاوت است زیرا برای هر تصویر ، نمونه در فاصله متفاوتی از منبع نور قرار دارد. با ترکیب این پروفیل های دو بعدی ، رایانه تصویری سه بعدی با جزئیات دقیق از نمونه می سازد.

در واقع ، آتوتا و همکارانش در ابتدا تکنیکی را برای ثبت شکل کامل سه بعدی اجسام کوچک و نه شناسایی نانو آلودگی ها ایجاد کردند. اما تیم با بهینه سازی هم طول موج منبع نور و هم ترازی میکروسکوپ ، تصاویر TSOM را با حساسیت بالا مورد نیاز برای آشکار کردن حضور نانو آلودگی ها در یک نمونه مواد نیمه هادی.

از آنجا که روش بهینه سازی شده TSOM به تجهیزات پرهزینه ای نیاز ندارد و می تواند نمونه ها را در زمان واقعی تصویربرداری کند ، این روش آماده است که توسط تولید کنندگان به کار گرفته شود ،

ارسال یک پاسخ

آدرس ایمیل شما منتشر نخواهد شد.